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        探針臺的簡單概述及淺談與晶圓測試的聯系

        更新時間:2022-07-25      點擊次數:1621
        探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業重要的檢測裝備之一,其廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。通過與測試儀器的配合,探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序前予以剔除,大大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環節的晶圓檢測、芯片研發和故障分析等應用。
         
        晶圓測試是在半導體器件制造過程中執行的一個步驟。在此步驟中,在將晶圓送至芯片準備之前執行,晶圓上存在的所有單個集成電路都通過對其應用特殊測試模式來測試功能缺陷。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設備執行。晶圓測試過程可以通過多種方式進行引用:晶圓最終測試、電子芯片分類和電路探針可能是較常見的。
         
        探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖-端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖-端都被設置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺移到下一個芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程,提高了探針臺生產率。
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