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        探針臺是半導體行業重要的檢測裝備之一

        更新時間:2022-06-22      點擊次數:1452
        探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業重要的檢測裝備之一,其廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
         
        探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測試環節,負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。在半導體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到最終器件制造的完成需經過復雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺是檢測半導體芯片的電參數、光參數的關鍵設備。經過檢測,探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序前予以剔除,大大降低器件的制造成本。
         
        半導體的測試環節,主要包括芯片設計中的設計驗證、晶圓制造中的晶圓測試(CP測試)和封裝完成后的成品測試(FT測試)。半導體測試設備主要包括測試機、探針臺和分選機。在所有的測試環節中都會用到測試機,不同環節中測試機需要和分選機或探針臺配合使用。
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